产品详情
产品概述
全碳吸附盘是一种专为半导体后工序设计的精密真空吸附工具,它利用多孔碳材料的高吸附性能,为芯片的搬运、加工和保护提供了高效解决方案。
市场现状
在半导体制造领域,传统的吸附工具可能面临以下问题:
●吸附力不足,导致晶片在搬运过程中滑动或移位。
●吸附痕迹转印,影响晶片表面质量。
●材料耐热性和耐热冲击性不足,限制了在高温环境下的应用。
●静电问题,可能导致晶片损坏或设备故障。
产品优势
1.高功能火花防护:全碳材料有效防止因静电引起的火花,保护晶片和减轻装置负担。
2.耐高温环境:耐热温度高达250℃(大气中)和900℃(惰性气体中),适用于高温工艺需求。
3.轻量化设计:与陶瓷吸附盘相比,重量减轻约40%,降低设备负担,提高设计灵活性。
4.防止晶片带电:碳材料的导电性能有效防止静电问题,适合静电敏感的工作环境。
5.均匀热分布:确保表面温度差在±2.5℃以内,满足晶片加热装置的严格要求。
6.消除吸附痕迹:多孔碳吸附面以高精度平面成型,提高成膜精度,避免吸附痕迹转印。
产品好处
●提高成品率:通过减少晶片损伤和静电问题,提高半导体后工序的芯片成品率。
●提升设备性能:轻量化设计和耐高温特性使设备更加稳定可靠。
●优化生产效率:均匀的热分布和消除吸附痕迹提高了生产过程中的效率和质量。
●降低维护成本:碳材料的耐用性和稳定性减少了设备的维护需求和成本。
结论
全碳吸附盘以其卓越的性能和多功能性,为半导体制造行业提供了一种创新的解决方案。它不仅能够提高生产效率和产品质量,还能降低维护成本,是半导体后工序中理想的精密吸附工具。我们提供定制服务和样品试用,欢迎咨询了解更多详情,让我们的产品帮助您实现更高的生产目标。